拋光墊

GRISH拋光墊具有優異的互相連接的微孔結構,在進行拋光處理時能具備優異的拋光穩定性、耐磨性和優異的漿料保持性,廣泛應用于晶片、玻璃、金屬和陶瓷的高平坦化加工。

GRISH拋光墊

     
       GRISH拋光墊具有優異的互相連接的微孔結構,在進行拋光處理時能具備優異的拋光穩定性、耐磨性和優異的漿料保持性,廣泛應用于晶片、玻璃、金屬和陶瓷的高平坦化加工。

 

產品規格 

項目產品規格測試方法
厚度(mm)1.4±0.1游標卡尺測量
硬度60±2邵氏(A)硬度計測量
孔深(mm)0.37顯微鏡放大200倍比對樣品無明顯差異
壓縮率(百分比)9-
絨長(mm)0.4±0.05顯微鏡放大200倍比對樣品無明顯差異
尺寸(mm)Φ(920±2)卷尺測量

備注1:可根據顧客需求提供不同厚度、尺寸的拋光墊產品;    
備注2:可根據顧客需要進行開槽和背膠處理。


產品特點

  • 質地細膩、平整度優異、不脫毛;

  • 高去除速率;

  • 優異的拋光重復性,表現穩定;

  • 拋光后可以達到無劃痕、無橘皮的鏡面效果。

 

應用領域
       GRISH拋光墊用于藍寶石、硅晶片等硬脆材料的終道CMP拋光,也可用于不銹鋼、鋁合金等金屬材料的鏡面拋光。


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